蔡司三坐标测量机的校准需遵循国际标准与设备专属操作流程，核心围绕测针校准、几何精度校准展开，同时把控环境条件、校准周期等关键要素，以下是详细规范内容：
校准前准备规范
环境条件校准：需将环境温度稳定在 20±0.5℃，相对湿度控制在 45%-65%，避免温度波动和湿度异常影响校准精度。同时设备需在该环境下稳定运行 24 小时以上，确保达到热平衡状态。此外要远离振动源、强电磁干扰设备，防止外部因素干扰校准数据。
器具与设备检查：配备经国家计量机构检定合格的标准球、量块等器具，且需核对其检定证书有效性，准确记录标准球理论直径等关键参数。安装测针时，需对齐 RDS 旋转头与探针吸盘的黑色标记，确保安装牢固，同时检查测针、接长杆无变形、磨损，标准球安装稳固无松动。另外要开机检查设备操控系统、软件运行是否正常，无异常报错后方可开始校准。
核心校准操作规范
测针校准：这是核心校准环节，首先在 Calypso 软件中新建测量程序，激活温度补偿功能，输入工件及 X、Y、Z 光栅的实际温度值。接着安装主探针并在软件中选择对应探针，将标准球固定在 45°、135° 等指定角度位置，通过软件启动参考球定位，设定 100% 探测速度后，操控探针至校准球轴向位置探测一点，设备会自动运行校准。单个测针需校准 6 次以上，观察 S 值需小于 0.0005，且直径与平时校准值相近、重复性良好；多测针位置校准时，还需检测各测针测量标准球的球心坐标变化，正常变化范围应在 1 - 3μm 之间。
几何精度校准：遵循 ISO10360 - 2 国际标准，选用不同长度的量块，在设备工作区域不同位置和方向进行长度测量误差检测，测量点数不少于 25 个以覆盖全工作空间。同时连续 20 次测量同一特征计算标准偏差，评估测量重复性；用标准球在不同方向和位置测量，检测探测系统的一致性，确保几何精度符合设备技术规格。
校准后验证与记录规范
结果验证：校准完成后，需用校准后的测针复测标准球或量块，核对数据重复性和一致性。若出现 S 值超标、球心坐标波动过大等情况，需重新检查测针安装、标准球位置，必要时重新校准。同时按 JJF1059 规范评定测量不确定度，分析设备、环境等因素带来的误差分量。
档案留存：详细记录校准信息，包括校准日期、操作人员、环境参数、标准器具信息、校准数据、不确定度评估结果等。建立完整的校准档案，确保数据可追溯，且校准记录需妥善保存，以备后续核查与追溯。
校准周期与后续管理规范
明确校准周期：日常使用中，每两周需对测针进行一次重新校准；若出现测针碰撞、环境温度大幅变化等情况，需立即校准。几何精度校准每年至少进行一次，若设备用于航空航天等高精度需求行业，可缩短周期，同时每年需与外部权威机构进行一次比对验证。
后续维护管理：校准后的标准器具需定期送检，建立期间核查制度，监控其稳定性。若校准中发现设备异常，需及时停用检修，待故障排除后重新校准，合格后方可投入使用。此外，校准人员需具备专业资质，熟练掌握 ISO10360、VDI/VDE2617 等标准，且需定期接受专业培训。
更新时间：2025-12-15
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