原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)是一种基于探针与样品表面相互作用的高分辨率显微技术,能够在纳米尺度上对样品进行三维形貌测量和多种物理、化学性质分析。其核心优势在于无需真空环境、可测量多种材料(包括绝缘体),且能提供远超光学显微镜的分辨率(横向分辨率达0.1-0.2纳米,纵向分辨率达0.01纳米)。以下是AFM的主要测量功能及应用场景:
一、表面形貌测量
三维形貌重构
通过探针扫描样品表面,记录探针垂直位移(Z轴信号),生成高分辨率的三维表面图像。
应用:纳米材料表面粗糙度分析、微电子器件结构表征、生物样本(如细胞膜、DNA)表面形貌观察。
案例:测量石墨烯表面单原子层台阶,高度差仅0.34纳米。
台阶高度与轮廓分析
定量测量薄膜厚度、纳米线直径、颗粒高度等垂直尺寸。
应用:半导体薄膜生长质量评估、纳米颗粒尺寸统计、涂层均匀性检测。
二、力学性质测量
弹性模量与硬度
通过力-距离曲线(Force-Distance Curve)分析,计算样品局部弹性模量(Young's Modulus)和硬度。
应用:聚合物材料力学性能表征、生物组织(如软骨、肿瘤细胞)硬度差异研究。
案例:测量癌细胞与正常细胞的弹性模量差异,辅助癌症诊断。
粘附力与摩擦力
测量探针与样品表面间的粘附力(如分子间作用力)或横向摩擦力。
应用:润滑材料性能评估、生物分子(如蛋白质、DNA)与基底相互作用研究。
三、电学性质测量
导电原子力显微镜(C-AFM)
在探针上施加电压,测量样品表面电流分布,生成导电性映射图。
应用:半导体器件漏电分析、导电聚合物薄膜均匀性检测、太阳能电池电极接触质量评估。
案例:定位太阳能电池中导电不良的微区,优化制造工艺。
静电力显微镜(EFM)
测量探针与样品表面间的静电力,反映表面电荷分布或介电常数。
应用:铁电材料畴结构观察、绝缘体表面电荷陷阱分析。
四、磁学性质测量
磁力显微镜(MFM)
使用磁性涂层探针,通过磁相互作用力映射样品表面磁畴结构。
应用:硬盘磁头开发、磁性纳米颗粒排列研究、自旋电子器件表征。
案例:观察磁存储介质中纳米级磁畴的写入与读取过程。
五、热学性质测量
扫描热显微镜(SThM)
探针尖端加热并测量局部热导率,生成热分布图。
应用:微电子器件热管理优化、复合材料热导率各向异性分析。
六、化学与生物性质测量
化学力显微镜(CFM)
探针功能化修饰(如连接特定分子),通过化学键合力识别表面化学成分。
应用:单分子检测、催化剂表面活性位点定位、生物分子特异性识别。
生物样本动态观察
在液体环境中实时监测细胞运动、蛋白质折叠或DNA杂交过程。
案例:观察活细胞膜表面受体动态分布,研究药物作用机制。
七、动态过程监测
时间分辨AFM
高速扫描(毫秒级)捕捉表面形貌变化,如相变、结晶生长或腐蚀过程。
应用:电池电极充放电过程形貌演变、金属腐蚀初期阶段监测。
八、原子力显微镜与其他技术联用
AFM-拉曼联用
结合AFM形貌与拉曼光谱化学信息,实现“形貌-成分”同步分析。
应用:二维材料(如MoS₂)层数与缺陷识别、聚合物复合材料界面研究。
AFM-红外联用
通过针尖增强红外光谱(TERS),实现纳米级化学成像。
应用:生物分子纳米结构化学组成分析、催化剂表面活性中心定位。