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扫描电子显微镜
Unity BEX成像探测器
Unity BEX成像探测器
更新时间:2025-10-04
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传统成像模式:速度慢,信息量不足
至今,常规SEM使用二次电子或背散射电子信号呈现灰白衬度图,显示样品起伏或原子序数差异的外观形貌。没有元素的成像信息,仅据形貌进行感兴趣区域的寻找,往往耗时耗力。
BEX:集高速及强大于一体
Unity探测器置于极靴之下,高立体角且具有双传感器,同时快速收集彩色的BEX信号,甚至可以在较低的束流下实现快速BEX成像,且对样品起伏不敏感,几乎无阴影效应。
基于元素分布的成像模式
Unity探测器可以快速高效的定位样品感兴趣区域,浏览样品的过程即是高分辨BEX成像的过程,实时呈现出元素的分布情况。瞬息之间,即可对样品进行较全面的了解,同时基于AZtec平台,可以一键切换EDS、WDS或EBSD,进行更加深入的分析。
BEX的重要性
BEX成像及全景模式提高检测效率岂止百倍,今后相同时间可以检测更多样品并获得更多分析结果,是科研、生产都离不开的有利工具。
传统工作流程
检索样品中的异常区域通常耗时耗力且需反复多次进行检查繁复枯燥且严重依赖于操作人员的感觉或对样品的熟悉程度,通常需要多次重复才可以确定所需分析的区域。由于检索过程中无法收集数据,因此无法保证及时发现异常区域。
BEX工作流程
使用Unity探测器,分析将更为动态,可获得更为丰富的数据。利用BEX的成像及全景模式不再需要操作人员的主观猜测。有了这些存储的宝贵数据,基于严谨分析,可更可靠和严谨的搜索异常和感兴趣的区域。
Unity探测器和BEX系统的主要优势
l 快速、准确、强大的全彩色高分辨率成像。
l 同时显示/保存形貌和成分数据,
l 专为日常成像和样品检索设计;
l 可在低真空等常规操作条件下工作;
l 提高工作效率和分析的准确性(实际测试中效率可提高100倍以上)。