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扫描电子显微镜

扫描电子显微镜

简要描述:JSM-IT200扫描电子显微镜,是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。用来测定样品微观形貌结构,可测样品:土壤、水、金属、岩矿、煤炭、油料、塑料、陶瓷、植物、保健品等多种样品,

产品型号: JSM-IT200

所属分类:柜式扫描电子显微镜

更新时间:2021-04-07

详细说明:
品牌自营品牌价格区间面议
仪器种类钨灯丝应用领域电子,冶金,航天,汽车,综合

 JSM-IT200扫描电子显微镜

主窗口 Z e r o m a g 观察ー

使用主窗口显示的样品架示意图和光学C C D 图像 *1 ,能寻找视野和定位 分析位置。

显示谱图和显示元素 显示谱图和显示元素 Live Analysis 分析 *2

通过显示谱图和显示元素,能确认正在观察中的视野的谱图及主要元素。

数据管理图标 数据管理图标 SMILE VIEW

T M

L a b 数据集中管理ー按下数据管理图标并显示数据管理窗口后,从 S E M 图像到分析,对全部数据能创建批量报告、

查看数据并重新分析数据。

J S M - I T 2 0 0 在完成样品交换的同时,开始观察需要的视野。

按照导航流程操作,也可以安全、方便、可靠地交换样品。

样品交换导航

样品交换导航是从打开样品室到开始观察过程中进行导航的功能。

Zeromag

只需扩大光学图像,就可以过渡到 S E M 图像

Z e r o m a g 功能将与样品台位置关联的样品架示意图、C C D 图像 * (光学图像)和S E M 图像实现了联动。可以直观地寻找分析区域,只需放大光学图像就可以过渡到S E M 图像,因而能防止弄错观察目标和样品。

Zeromag 的特长

・能象用光镜一样直观地移动视野

・可以预约多个分析区域的测试

・可以轻松回溯到已测试完的区域

Live Analysis

S E M 观察过程中始终显示元素分析结果

利用Live A n a ly s i s 功能,可以不必再分别考虑S E M 观察和E D S 分析。在观察窗口上可以随时显示分析区域内的特征X射线谱图和自动定性的主要构成元素名称,还可以发现感兴趣的元素和一些意想不到的元素。

Live Analysis 的特长

・始终显示特征X射线谱图

・通过显示样品的主要构成元素帮助发现意想不到的元素。

・对感兴趣元素的标注“Alert”

利用SEM观察窗口上配置的全域/区域面分布图图标能获取整个观察区域或需要区域的元素面分布图。

可利用数据管理软件 SMILE VIEWTM Lab 对采集的数据(如用谱图、元素面分布图、线分析对元素的再定位等)进行各种分析。

实时 净计数面分布图/定量面分布图

对每个像素点的谱峰进行分离,显示消除了临近峰影响的元素面分布图。对净计数面分布图进一步校正计算,还有用定量值显示的定量面分布图。

强度面分布图和净计数面分布图

Pb-Mα (2.342 keV)的谱峰 Bi-Mα (2.419 keV) 的谱峰很接近,在强度面分布图中很难把BiPb的峰完全分开。通过显示净计数面分布图,可以确认Bi元素原有的分布。

JSM-IT200扫描电子显微镜技术规格

设备型号

IT200

基本性能

二次电子像分辨率

3 nm (30 kV, 高真空)

8 nm (3 kV, 高真空)

15 nm (1 kV, 高真空)

背散射电子像分辨率

4.0 nm (30 kV, 高真空)

加速电压

0.5 to 30kV

放大倍数

5x to 300,000x

EDS 分析

电制冷方式Dry SDD extra detector (不用液氮)

EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35

电子光学系统

电子枪

工厂预对中灯丝

电子枪偏压

无缝式自偏压

聚光镜

可变焦聚光镜

物镜

超级圆锥形物镜

物镜光阑

3段式可动(XY轴微调)

像散存储器

内置

图像移动

±50μmWD 10 mm

探测器

二次电子探测器

高灵敏度半导体型背散射电子探测器

自动化功能

自动灯丝加热

内置

自动枪对中

内置

自动聚焦

内置

自动消像散

内置

自动亮度和对比度调整

内置

样品室

最大样品尺寸

150 mm (直径)

可支持的选购附件

EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman

样品台

X

0 ~ 80 mm

Y

0 ~ 40 mm

Z

5 ~ 48 mm

R

360

T

-10 ~ 90

最大视野范围

127 mm (直径)

最大样品高度

48 mm

马达驱动

2 (X, Y)

图像显示系统

PCOS

Windows®10

显示器

24” LCD

图像存储像素

320x240, 640x480, 1280x960, 2560x1920, 5120x3840 pixels

图像保存格式

Format: BMP, TIFF, JPEG

操作系统

操作导航器

 

位于显示屏下端的操作导航器可控制以下功能:用户管理, 样品交换, 菜单, 成像, 打印, 参数设定, 维护

测量功能

平行线间距测量

垂直, 水平, 对角

2点之间距离测量

任意2点间距离

圆的测量

直径, 2个圆中心间距离

角度测量

角度

面积测量

圆和多角形

计数

颗粒统计

真空系统

类型

全自动抽真空系统

油扩散泵

420 /

机械泵

100 /: 1 (6510/A), 2 (6510LV/LA)

外观

基本单元尺寸

750 mm () x 1,000 mm () x 1,445 mm ()

基本单元重量

325 公斤

安装要求

室温

20 ± 5

湿度:

低于60%

供电

单相 AC100 V, 50/60 Hz, 3 kVA

 

E DS 适用于AAnalysis)和LALow V a c u u m &Analysis)配置。

主要技术规格

 

 

Basic(标配)

Standard

SEM 集成化

SEM 控制软件内置

观察/分析数据的集中管理

SEM 操作窗口上定位分析位置(从SEM GUI上直接分析)

分析位置的图形显示

检测器

SDD 类型

参照检测器列表

谱图分析

定性分析(谱峰鉴别、自动定性)

Visual Peak ID

无标样定量分析(ZAF 法)

标样定量分析(ZAF 法) *4

 

PHI-RHO-Z(PRZ) 法定量校正法

线分析

线分析(水平、任意方向

元素面分布图

元素面分布图(多色显示、单色显示、多色合成

最大分辨率 4 , 0 9 6 × 3 , 0 7 2

实时弹出谱

谱峰分离图 (净计数面分布图、定量面分布图)

实时净计数面分布图

实时过滤器

浓度分布曲线

电子束追踪

连续分析

谱图分析、线分析、元素面分布

测试完的数据的统一分析(定性、定量)

蒙太奇功能

自动制作蒙太奇(SEM 图像、元素面分布图)

多区域连续元素面分布图

颗粒度分析软件

颗粒度分析 (自动 / 手动)&EDS 分析

颗粒度分析数据的分类功能

图形显示颗粒度分析数据的统计处理

大区域的连续颗粒度分析 EDS 分析

样品台导航系统上设定测试范围

数据管理功能和生成报告

SMILE VIEW TM Lab

帮助功能

帮助导航

离线功能

与设备主机独立的PC 上可以解析数据的离线软件



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